国产先进制造工艺学习工作站栎芯100
国产先进制造工艺学习工作站-栎芯100顶装FFU送风和照明灯，带安全黄光照明和送风功能，提供无紫外线的封闭空间，工作台上方的背板带有排风口。
工作平台由生产工艺：清洗、匀胶、烘焙、光刻、显影、刻蚀、掺杂设计等几个模块组成。可容纳3-4人同时进入此区域进行生产作业和观摩。约15分钟就能制作二极管PN结模块，过程安全且快速。
0755 - 85259297
产品特点
PRODUCT FEATURE
- • 无紫外线封闭空间：提供安全的实验环境，避免紫外线对人体和实验材料的损害。室内顶装FFU送风和照明灯提供安全黄光照明和送风功能。工作台上方的背板带有排风口。
- • 模块化设计：各模块功能明确，操作简单，便于学生快速掌握芯片制造的基本流程
- • 快速高效：从硅片处理到芯片成型，整个过程仅需十几分钟，适合教学实验的快速需求。
- • 安全可靠：设备设计符合实验室安全标准，操作过程安全，适合学生使用。
- • 教学友好：适用于制作简易毫米级或厘米级教学芯片，帮助学生直观理解芯片制造工艺。
- • 设备状态指示灯：用于可视化呈现设备运行、故障、待机等核心状态，便于用户快速识别设备工况。
- • 更多功能：光刻亭门口屏幕加入视觉验证开门，光刻亭内工作状态展示，增加摄像头进行实验过程录播，老师可远程与学员通讯互动。
技术参数
TECHNICAL PARAMETERS
| 设备外观尺寸 | 2500×1750×2550 ±50 mm |
|---|---|
| 工作台外观尺寸 | 3840×820×1690 ±50 mm |
| 整机重量 | 0.8 t |
| 工作平台模块 | 清洗、匀胶、烘焙、光刻、显影、刻蚀、参杂设计 |
| 可容纳人数 | 3-4个人 |
| 室内结构 | 室内顶装FFU送风和照明灯，提供安全黄光照明和送风功能；工作台上方的背板带有排风口 |
| 设备框架 | 氧化处理的铝合金框架确保结构的牢固和耐腐蚀性 |
使用步骤
USAGE PROCEDURES
功能模块介绍
INTRODUCTION TO FUNCTION MODULES
