超声波扫描显微镜OAK-SAM001
OAK-SAM001超声波扫描显微镜主要利用高频的超声波(1MHZ以上)检测器件、材料内部的缺陷位置、大小和分布状态，对粘结层面非常敏感，能检测出气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷，是以波形、图形为显示方式的一种无损检测工具，可以保留在破坏性检测中被丢失的细微缺陷，样品通过检测后可以继续使用。主要应用于失效分析、可靠性分析、制程控制、质量控制、产品研发，工艺提升等。
0755 - 85259297
产品特点
PRODUCT FEATURE
- • INTELLISAM专用超声扫描检测软件：完全自主研发，功能强大，中文操作界面，可依据用户需求持续升级检测模式: A、B、C、T扫描，区域扫描等
- • 交互式图像显示：图像伪着色及相位着色分析，可自定义任意多种着色色条
- • 全自动缺陷判定及自动生成报告
- • 3D成像
- • 支持多种图像格式及离线图像分析处理
- • 自动对焦
- • 自动搜索样品中心
- • 前表面跟随
- • 自动测算：缺陷尺寸和面积统计，自动计算缺陷占所测量面积的百分比
- • 高性能硬件：扫描轴采用最先进的线性伺服马达，最高扫描精度0.1μm，重复精度可以达到±0.5μm，实际可用扫描速度达到2000mm/秒。
应用场景
APPLICATION SCENARIO
微电子学领域:
在塑封微电路板、贴片式陶瓷电容、芯片粘贴层、晶片尺寸级封装、倒装芯片、叠型晶片与3D集成、锡球阵列、卷带自动结合、混合封装、柔性电路、印制电路板、智能卡、热电冷却器、功率模块等的制造与检测中，可检测封装内部的缺陷，保证电子器件的可靠性和性能。
微机电系统（MEMS）:
微机电、粘结晶圆、制造工艺评估、零级封装、空腔密封分析、封装、传感器、集成微电子机械系统、微光机电系统、实验室芯片、生物芯片、微阵列芯等。
材料:
复合材料、玻璃纤维、高分子材料、石墨纤维与树脂、金属模板、合成物等的内部缺陷，如分层、裂纹、空洞等，确保材料质量与性能。
军事、航空及汽车领域:
高可靠性资格筛选、产品升级筛选、资格筛选、包装/密封、微射流技术、聚乙烯/箔袋、焊件、包装密封、无铅化器件、伪造设备。
其他:
芯片实验室、生物芯片、微阵列芯片、过滤、医疗、食品、医疗、药品、其他密封应用、X射线靶、多层陶瓷、LED模块、驱动。
技术参数
TECHNICAL PARAMETERS
| 整机尺寸 | 1100×1000×1500 mm |
|---|---|
| 水槽尺寸 | 900×600×200 mm |
| 有效扫描范围 | 400×400 mm |
| 最大扫描速度 | 2000 mm/s |
| 图像最大像素 | 43000×43000 像素 |
| 最高扫描精度 | 0.1 μm/像素 |
| 采样频率 | 2G Sample/sec |
| 扫描轴定位精度 | XY ≤ ±1 μm |
| 扫描轴重复精度 | XY ≤ ±0.5 μm |
| 超声收发器带宽 | 1 – 300 MHz |
| 超声换能器适配范围 | 1 – 230 MHz |
案例展示
CASE PRESENTATION
